• [微机电系统及设计] 微机电系统加工技术比较 日期:2014-08-09 08:48:29  点击:174   好评:0  评论()

    6.2微机电系统加工技术比较 由于MEMS技术的发展,已经开发出各种加工技术,表29.2-31给出了这些加工技术的类型、所能加工的材料、加工误差以及深宽比[7]。...

  • [微机电系统及设计] 微机电系统制造工艺优化-常用材料的刻蚀特性 日期:2014-08-09 08:24:13  点击:128   好评:0  评论()

    6微机电系统制造工艺优化 6.1常用材料的刻蚀特性 随着MEMS技术的不断发展,MEMS器件的加工过程中不断引人新材料和新加工工艺。因此,除了传统的硅、多晶硅、二氧化硅等材料以外,目前MEMS加工过程中还涉及到很多其他材料。在设计微加工工艺流程的时候,需要...

  • [微机电系统及设计] 注射微成型技术 日期:2014-08-09 08:20:20  点击:207   好评:0  评论()

    5.4注射微成型技术 注射成型需要专门的注射机和微型模具14.3)。其中模具背面固定在夹板上。在注射成型工艺中使用的聚合物是由颗粒状、粉片状或片状原料加工而成的,用于注射成型的典型材料有聚氯乙烯(PVC),丙烯睛一丁二烯一苯乙烯(ABS)和聚甲基丙烯酸甲醋(PM...

  • [微机电系统及设计] 热压微成型技术 日期:2014-08-09 08:09:55  点击:456   好评:0  评论()

    5.3热压微成型技术 在MEMS领域,用于热压成型的材料主要是高分子聚合物材料,例如聚甲基丙烯酸甲醋(PMMA)和聚碳酸醋(PC)等。这类材料主要应用。于微流控系统、生物化学分析系统等【10,361。热压成型的装置 示意图如图29.2-79所示,制造工艺流程如图29.2-80所...

  • [微机电系统及设计] 电火花微加工技术 日期:2014-08-09 08:06:24  点击:88   好评:0  评论()

    5.2电火花微加工技术 电火花加工是利用工件和电极之间的脉冲性火花放电,产生瞬间高温使工件材料局部熔化和汽化,从而达到蚀除加工的目的。电火花加工要求加工材料导电,因此可以实现金属和半导体材料等加工。微细电火花加工原理与普通电火花加工原理相同,...

  • [微机电系统及设计] SU-8胶其他特性、其他微机械加工技术 日期:2014-08-09 08:06:15  点击:230   好评:0  评论()

    4.4SU-8胶其他特性 由于su-8胶在MEMS领域广泛应用,表29.2-19和表29.2-20总结了SU-8胶的力学、热稳定和电学特性[33]。 5、其他微机械加工技术 (1)非IC三维加工技术发展的驱动力 1)MEMS需要不同的材料和结构(如金属、陶 瓷、聚合物等),而IC技术无法提供; 2)...

  • [微机电系统及设计] 激光微加工技术 日期:2014-08-09 08:00:28  点击:140   好评:0  评论()

    5.1激光微加工技术 激光微加工技术包括激光烧蚀机理直接微加工技激光LIGA技术、脉冲激光辅助沉积和刻蚀、激术光立体平板印刷技术、激光表面修饰技术、脉冲激光辅助操控和装配技术等。激光微加工是一步一步地通过激光束移动串行来除去所加工的区域。可以加工...

  • [微机电系统及设计] SU一胶光学特性 日期:2014-08-09 07:32:01  点击:192   好评:0  评论()

    4.3SU一胶光学特性 SU-8胶之所以能够制造高达2mm,深宽比接近20的微结构,是因为其在Uv光波段内的低光吸收率,特别是在365nm波长上具有更加优异的感光性能,折射率n= 1.8(100GHz条件下),n=1.7(1.6TH:条件下)。图29.2-73给出T胶厚从55m变化到3745m时测得的Uv...

  • [微机电系统及设计] 去胶工艺 日期:2014-08-09 07:31:50  点击:200   好评:0  评论()

    4.2去胶工艺 su一8胶广泛的应用于UV-LIGA工艺,当电铸好模具后,应将金属腔内的SU-8胶去除,形成空腔用于模压,以用于微结构的复制。由于SU-8胶是环氧树脂型光刻胶,高度交联后很难除去,尤其是经过电铸工艺以后,用专用的SU-8胶去胶剂几乎不起作用,会产生...

  • [微机电系统及设计] 工艺流程 日期:2014-08-09 07:24:27  点击:161   好评:0  评论()

    4.1工艺流程 SU-8胶的光刻工艺流程和一般的Uv光刻工艺一样,如图29.2-69所示,主要包括:基片预处理、涂胶、前烘、曝光、后烘、显影。如在显影后进行电镀就可制造金属结构。在进行SU-8胶工艺处理过程之前,首先是采用普通玻璃镀Cr的方法,进行掩膜板的制作;然...