微机械装置

2014-12-01 16:50 作者:管理员11 来源:未知 浏览: 字号:

摘要:微机械装置 微小装置具有许多优点:①微小装置在航空 航天中具有重要的应用,体积和重量的减少相当于拓 展航天范围或者减少飞行燃料;②微小尺度下,高速 运转的机械装置受惯性的影响较小,如果需要装置迅 速启动和停止,则可以大大受益;③更小的尺寸意味 着微

微机械装置
    微小装置具有许多优点:①微小装置在航空
航天中具有重要的应用,体积和重量的减少相当于拓
展航天范围或者减少飞行燃料;②微小尺度下,高速
运转的机械装置受惯性的影响较小,如果需要装置迅
速启动和停止,则可以大大受益;③更小的尺寸意味
着微机械装置相对于宏观器件具有更好的耐冲击和抗
振特性,这是因为组件强度随尺寸的平方缩小,而质
量随尺寸的立方缩小;④装配成本减少,因为在大多
数情况下,微机械装置允许元件在制造的同时完成装
配,取代了工人对复杂机械装置的手工组装或购买复
杂的机械设备,装配可以通过集成电路制造工艺批量
完成。
    表面微机械装置最大的缺点是设计者可使用的材
料层数和种类有限。通常设计者只能采用有限层数
(通常是两到三层)的结构材料。淀积速率和薄膜应
力限制了层厚。释放速率限制了结构在衬底上的跨度。
在只有一种结构材料的情况下也会出现摩擦间题,表
面微机械装置最大的问题是材料之间的摩擦和磨损。
    表面微机械装置的设计和宏观机械装置有很多共
同之处,但也有许多区别。例如对于宏观和微型机械
来说,四杆联动机构的功能是类似的,但是在微小尺
度下,连杆间的连接方式是不同的。在宏观机械中,
多使用旋转连接;而在表面微机械装置中,更多使用
柔性连接。 (责任编辑:laugh521521)
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