摘要:3.1微机电系统组成 微机电系统本质上是一个系统,是为完成特定任务而设计的一种系统。图29.1-2给出了微机电系统组成的基本框图,其主要包括微传感器、微执行器、信号处理单元和能量供给装置。 表29.1-6给出了MEMS及其器件分类【1-4】。 微机电系统的实现,主
3.1 微机电系统组成
微机电系统本质上是一个“系统”,是为完成特定任务而设计的一种系统。图29.1-2给出了微机电系统组成的基本框图,其主要包括微传感器、微执行器、信号处理单元和能量供给装置。
表29.1-6给出了MEMS及其器件分类【1-4】。
微机电系统的实现,主要依赖于设计、制造、封装与装配、可靠性和测试等关键技术。
(责任编辑:laugh521521)
微机电系统本质上是一个“系统”,是为完成特定任务而设计的一种系统。图29.1-2给出了微机电系统组成的基本框图,其主要包括微传感器、微执行器、信号处理单元和能量供给装置。
表29.1-6给出了MEMS及其器件分类【1-4】。
微机电系统的实现,主要依赖于设计、制造、封装与装配、可靠性和测试等关键技术。
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