摘要:1.4微机电系统和微电子的比较 MEMS技术是在微电子技术基础上发展而形成的,表29.1-4比较了MEMS技术和微电子技术的差别【2】. 2.微机电系统发展历程 1987年,在国际会议TRANSDUCERS`87上,美国UCBerkeley的R.S.Muller小组报道了表面微机械加工的多晶硅静电马
1.4 微机电系统和微电子的比较
MEMS技术是在微电子技术基础上发展而形成的,表29.1-4比较了MEMS技术和微电子技术的差别【2】.
2.微机电系统发展历程
1987年,在国际会议TRANSDUCERS`87上,美国UC Berkeley 的R.S.Muller小组报道了表面微机械加工的多晶硅静电马达。马大直径小于120um,厚度仅为1um,在350V的三相电压驱动下的最大转速为500r/min;美国Bell Lab de W.N.S.Trimmer小组报道了表面微机械加工的多晶硅齿轮和连杆机构。自此,MEMS一词进入人类舞台。每一种新技术的出现,并不是突然产生的,总有一定的技术积累。表29.1-5所列是MEMS技术近年来发展过程中的重要里程【1】~【4】。
(责任编辑:laugh521521)
MEMS技术是在微电子技术基础上发展而形成的,表29.1-4比较了MEMS技术和微电子技术的差别【2】.
2.微机电系统发展历程
1987年,在国际会议TRANSDUCERS`87上,美国UC Berkeley 的R.S.Muller小组报道了表面微机械加工的多晶硅静电马达。马大直径小于120um,厚度仅为1um,在350V的三相电压驱动下的最大转速为500r/min;美国Bell Lab de W.N.S.Trimmer小组报道了表面微机械加工的多晶硅齿轮和连杆机构。自此,MEMS一词进入人类舞台。每一种新技术的出现,并不是突然产生的,总有一定的技术积累。表29.1-5所列是MEMS技术近年来发展过程中的重要里程【1】~【4】。
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