日期：2014-12-01 17:33:11  点击：227   好评：0  评论()

微工厂或桌面工厂 Feynman在1959年的美国物31学会上的演讲中 描绘了一个全新的物理应用领域，也就是徽型系统。 他提出用小机器制造更小的机器或系统的徽系统制造 方法。然而这种思路目前还没能在MEMS钡域得以 实现。事实上，我们用的是很大很大的机械来制造小...

日期：2014-12-01 17:22:00  点击：225   好评：0  评论()

微机器人器件 微机器人器件种类很多，可以简单到就是一个可 操纵微导管，也可以复杂到一个配置了各种微工具的 全自动行走机器人等。其中有各种各样的微机器人器 1微夹子和其他微型工具 第一个出现的微机器人工具是面内运动的静电执 行器，构成了一个微夹子器...

日期：2014-12-01 17:19:31  点击：244   好评：0  评论()

微机器人制造方法 设计微机器人时，需要对各参数进行权衡考虑， 包括行程、强度、速度、功耗、控制精度、系统可靠 性、势棒性、力的产生方式、承载能力等。这些参数 与执行机制有着密切的联系。下面将圈绕这些参数展 开详细介绍。 1微执行器阵列 对于多数徽执...

日期：2014-12-01 17:17:18  点击：156   好评：0  评论()

微机器人应用领域 1基于MEMS技术的微机器人应用 微机器人的用途最早由Feynman在上个世纪50 年代末期提出。他认为机器人变小后主要可用来实现 微型工厂和(在病人血管里)微型手术这两个用途。 用基于MEMS技术的徽机器人来实现可操纵导 管和内窥镜，可以达到计算...

日期：2014-12-01 17:13:10  点击：277   好评：0  评论()

微机器人 早在1959年，诺贝尔奖获得者Feynman教授在 著名演讲中就提到了微尺度物体的制造和操纵问题。 Feynman提出的方法是利用微型机械(即微型机器 人)本身去制造或组装其它微机械和微型系统。这 种方法实际上是一种棍合加工技术.或者说是串行加 工技术(一个...

日期：2014-12-01 17:04:47  点击：202   好评：0  评论()

应用实例 1微马达 多晶硅装置中最重要的元件之一是微马达。图 29.4-34是微马达的示意图，一个梳状驱动器通过滑 块曲柄装置与齿轮相连，另一个梳状驱动器用于控制 齿轮通过上方和下方的静止点。梳状驭动器是静电器 件，利用边缘场可以在较大的位移范围内产生均...

日期：2014-12-01 16:59:39  点击：154   好评：0  评论()

失效机制 1离面结构的垂直浮动和机械干扰 表面微机械组件的一个典型特征是厚度比宽度小 得多。由于低压化学气相淀积的淀积速率和薄膜中的 应力限制，在平面法向上，厚度被限制在几微米。在 衬底平面上，结构的跨度可能达到几个毫米。这些因 素导致表面微机械...

日期：2014-12-01 16:52:07  点击：171   好评：0  评论()

微机械装置-机械设计 结构和机械装置之间的根本差别在于机械装置具 有给定的自由度，通常为一个自由度。根据运动方 式，可以将微机械装置分为两类:弹性装置，借助柔 性结构运动，如弹赞和扭转杆等;刚体(或整体运 动)装置，借助铰链和轴承运动。刚体装置允许部...

日期：2014-12-01 16:50:02  点击：129   好评：0  评论()

微机械装置 微小装置具有许多优点:①微小装置在航空 航天中具有重要的应用，体积和重量的减少相当于拓 展航天范围或者减少飞行燃料;②微小尺度下，高速 运转的机械装置受惯性的影响较小，如果需要装置迅 速启动和停止，则可以大大受益;③更小的尺寸意味 着微...

日期：2014-12-01 16:47:00  点击：208   好评：0  评论()

微流控系统 目前已经报导了多种微流控芯片及系统，主要应 用领域包括疾病诊断、药物筛...